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Poids de l’Open access dans la production CNRS

Titre
Comparative study of soft thermal printing and lamination of dry thick photoresist films for the uniform fabrication of polymer MOEMS on small-sized samples
BSO - Titre
Comparative study of soft thermal printing and lamination of dry thick photoresist films for the uniform fabrication of polymer MOEMS on small-sized samples
DOI
DOAI
Identifiant WoS
WOS:000399343700001
Accès ouvert
OA - Oui
Source - Accès ouvert
OA - Non
Type d'accès
Archive
Editeur

IOP Publishing

Source

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING

ISSN
0960-1317
Type de document
  • Article
Notoriété
3 - Correcte
CNRS
Oui
CNRS - Institut
  • INS2I - Institut des sciences de l'information et de leurs interactions
  • INSIS - Institut des sciences de l'ingénierie et des systèmes
uid:/ZP464Q6P
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